UVW平台出厂检测项目及检查成绩书（HEPHAIST）
UVW平台规格（160*160mm） 型号：HEPHAIST_NAF3C-16K00P 日本产
| 项目 | X轴 | Y轴 | θ轴 |
| 精度保证行程 | ±5mm | ±5mm | ±3° |
| 重复定位精度 | ±0.7μm | ±0.7μm | ±2.5s（计算值） |
| 空程lost motion | 2μm | 2μm | 7s（计算值） |
| 平行度 | 30μm | ||
| 移动时最大负载 | 300N（垂直方向等分布荷重） | ||
| 静止时最大负载 | 1000N（垂直方向等分布荷重） | ||
| 本体重量 | 约6kg | ||
| 材质-表面处理 | 铁系材料－低温镀铬处理 铝系材料－氧化铝膜处理 |
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| 润滑脂 | 低发尘润滑脂(THK 制 AFF 润滑脂) | ||
| 电机 | 种 类： 5 相步进电机 0.75A/相（步进角：0.72°） 型 号： TS3664N16E2 制造商： 多摩川精机 |
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| 传感器 | 原点传感器 （A 接点） PM-L25（松下SUNX 制） | ||
| 限位传感器 （B 接点） PM-L25（松下SUNX 制） | |||
| 接头 | 电机用接头：D02-M15PG-N-F0(日本航空电子工业制) 传感器用接头：D02-M15SG-N-F0(日本航空电子工业制) 接头位置：U 轴侧 |
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重复定位精度（从任意1 点向相同方向作7 次往复，测每次停止的位置，读数最大差取１／２。）
| 测定器 | Agilent 激光测距器 |
| 测定温度 | 22℃±3℃ |
| 设定速度 | 5mm/秒（加減速时间：0.2 秒） |
| 测定位置 | 台面中间附近 |
| 测定点 | （Ｘ、Ｙ轴）从－5ｍｍ到＋5ｍｍ的每1ｍｍ间隔的11 点 |
空程（从正负方向向任意点作7 次重复动作测停止的点的平均值的差。）
| 测定器 | Agilent 激光测距器 |
| 测定温度 | 22℃±3℃ |
| 设定速度 | 5mm/秒（加減速时间：0.2 秒） |
| 测定位置 | 台面中间附近 |
| 测定点 | （Ｘ、Ｙ轴）从－5ｍｍ到＋5ｍｍ的每1ｍｍ间隔的11 点 |
台面相对于基座的平行度（测出台面4 角、中央附件共9 处各自相对的基座底部的高，取最大值和最小值的差。）
| 测定器 | 电子千分表或3 坐标检测仪 |
| 测定温度 | 22℃±3℃ |
| 测定位置 | 台面上的任意9 点 |
出厂附带实际检测报告书（示例）
创建时间：2022-12-20 14:58
