日本IKO三轴直线电机SA系列的系统构成
日本IKO校准工作台SA…DE虽然体积小但动力强大，可进行高速、高响应性定位，是一款功能卓越的校准工作台。其机械接触部分只有直线导轨，因此还具有很高的清洁度。最适合用作半导体、液晶相关生产装置和要求具有清洁环境的检查装置、组装装置等的紧凑型定位机构。
产品特点
（1）紧凑的XYθ工作台该校准工作台在直线导轨部使用小型直线导轨设备的直线导轨L，在旋转导轨部使用交叉滚子轴承，在驱动部采用直接驱动方式，实现了低断面的紧凑型XYθ运动。
（2）XYθ可自由组合以直线移动用X工作台和旋转定位部θ工作台作为基本构成，品种齐全。可轻松构建X轴和θ轴的组合及XY轴的校准工作台。
（3）薄型、紧凑采用无铁芯直线电机和直线导轨L、交叉滚子轴承。与滚珠丝杠驱动的工作台相比，实现了极低的断面高度。
（4）高分解能、高响应性通过对内置高分解能线性编码器的直接驱动方式的工作台进行全闭环控制，实现了高分解能和高精度。
（5）支持运动网络（株）日立产机系统制造的专用驱动器支持EtherCAT。此外，三菱电机（株）制造的专用驱动器还支持SSCNETⅢ/H，节省配线，可构建更高级的系统。
※EtherCAT是德国倍福自动化有限公司授权的注册商标，该技术已获专利。
※SSCNET是三菱电机（株）开发的伺服系统控制用运动网络通信。
另外，可适配多种品牌伺服驱动器，例如松下、高创等。具体请联系我们。
安装时的注意事项
关于安装的台架
（1）必须具有足够的刚性请安装在具有足够刚性的台架上，确保可承受可动工作台的加减速。刚性不足时会因加减速而导致振动，或因整定时间变长而引发故障。
（2）安装面的平面度（推荐）：10μm以下台架安装面的精度对校准工作台SA…DE的行走精度及性能具有重大影响。
（3）必须为不燃物体推荐材质：钢、铝合金请务必使用不燃物体，以防止发生火灾。建议使用钢、铝合金等有利于电机散热的材质。
安装螺栓与拧紧扭矩（推荐）
安装螺栓:内六角螺栓M3公称长度6以上拧紧扭矩:1.1Nm（台架材质：以钢为例时）配合部件材料为铸铁及铝合金时，请根据其强度特性降低拧紧扭矩。需要无振动、无冲击或高精度时，也可以小于表中数值的扭矩拧紧。为防止螺丝松动，推荐同时使用粘合剂。
安装方向须水平安装请勿在立轴上及倾斜状态下安装。否则因停电等故障而导致电源OFF时，可动工作台会掉落，非常危险。安装于天花板或墙壁时，请考虑采取保护措施，以免污垢附着在线性编码器（光栅尺）上或与其接触等。
保护与安全措施另行设置与设备相应的止动器产品附带的止动器用于防止工作台脱落、以及在原点复位、运输等时防止轻微碰撞。如果因误动作而导致强烈碰撞，则可能导致损坏。为了防止在运行时发生意外，请另行设置符合用户设备要求的止动器。
关于编码器接口校准SA…DE系列中，SA65DE/X及SA65DE/XY以外的轴上附带编码器接口。运行时必须进行校准作业（用户作业）。
●何谓校准？・校准是指对编码器的信号输出电平进行电气性最佳调整的作业。・首次连接编码器的读取头和接口后，仅需进行1次校准即可。・通过校准，读取头和接口被调整为1对1的关系。其后想要变更读取头和接口的组合时，须再次进行校准。
●校准步骤
・确认CAL/AGC指示灯已熄灭。黄色灯亮灯时，按住CALIBRATE按钮3秒以上，使CAL/AGC指示灯熄灭。
・按下CALIBRATE按钮，CAL/AGC指示灯闪烁后，用手慢慢按压可动工作台。・成功后则CAL/AGC指示灯熄灭，SETUP的LED指示灯的蓝灯亮灯。
・然后，按住CALIBRATE按钮3秒以上，使CAL/AGC指示灯的黄灯亮灯。・通过上述操作无法校准时，或需要更详细的说明时，请参照产品附带的步骤书。
以 SA65DE/5X3 为例，使用日立ADVA系列驱动器构成下图所示系统时的运行步骤。
【使用条件】 ·通过外部脉冲串信号（正转脉冲+反转脉冲输入方式）控制位置。 ·通过驱动器功能进行原点复位。
【步骤1】确认SA65DE/5X3与驱动器的配套以及接线有无错误。请勿在可动部放置任何物体。用手使SA65DE/5X3可动部动作，确认滑动无异常。
【步骤2】将漏电断路器置为ON，向驱动器输入控制电源。·数字操作器的指示灯点亮，变为速度指令监视显示d-00。（出厂状态下的初始显示）
【步骤3】变更以下参数。FA-28电子热敏值Þ变更为“50”[环境温度为20℃时]。FA-82编码器分解能Þ分解能为0.5μm，因此变更为“9300”。FA-85线性光栅尺精度Þ分解能为0.5μm，因此变更为“0.5”。
【步骤4】确认步骤3以外的参数，根据需要进行变更。以下为代表性参数。FA-00控制模式Þ用于位置控制，因此以初始值（P-S）使用即可。FA-11脉冲串输入模式Þ使用P-S（正转脉冲+反转脉冲输入方式）即可。FA-22位置指令选择Þ使用脉冲指令运行，初始值即可。FA-23原点复位模式Þ使用挡块撞击式原点复位，初始值（Ht-r）即可。Fb-20速度限制正值Þ由于是试运行，使用初始值“300”即可。Fb-21速度限制负值Þ由于是试运行，使用初始值“300”即可。Fd-00负载惯性矩比Þ由于是试运行，使用初始值（空载）即可。Fd-01速度控制响应频率Þ由于是试运行，使用初始值即可。Fd-09位置控制响应频率Þ由于是试运行，使用初始值即可。
【步骤5】将电磁接触器置为ON，接通主回路电源。
【步骤6】将复位信号（RS）置为ON，同时将伺服ON信号（SON）从OFF置为ON。可动工作台微动后进行磁极位置推定，在结束的同时变为伺服锁定状态。
【步骤7】将复位信号（RS）置为OFF，将原点复位信号（ORG）置为ON。（开始挡块撞击式原点复位动作）原点复位结束后，将原点复位信号（ORG）置为OFF。
【步骤8】将脉冲串输入允许信号（PEN）置为ON，允许输入脉冲串。
【步骤9】通过手动操作（JOG运行）输入脉冲串，确认动作。·请充分确认移动方向是否正确、指令与目标位置是否一致、限位传感器是否工作等。请将速度设定为低速，确保在出现意外时也可安全停止。
【步骤10】通过脉冲串输入确认自动运行动作。·关于运行模式，请事先参考“4.3运行模式的探讨”进行讨论，设定运行模式时，请避免实际推力超过SA…DE的额定推力。·以1个行程为单位，通过单步运行等与外部（PLC等高位设备）输入输出之间建立通信，同时进行动作确认。如果出现预想外的动作，则探讨是程序的问题还是输入输出的问题，并进行修正。·最初的移动速度请设定为低速。确认动作后，请将速度提升到设计的速度。·通过单步运行确认一系列动作后，通过自动运行进行确认。
【步骤11】进行正式运行准备。·将负载固定在可动工作台部。·请变更参数Fd-00（可动部质量）。·设定最合适的速度限制（Fb-20、Fb-21）。·请在负载状态下连续动作，确认有无异常振动、异常声音、异常升温等。·请确认停止精度、整定时间等有无问题，并根据需要进行增益调整（Fd-01、Fd-09）。
其他品牌驱动器的参数修改，具体请联系我们。
